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創(chuàng)新與發(fā)展

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光刻加工

供稿：本站 | 發(fā)表日期：2020-05-08 | 點擊數(shù)： 231 次

圖片8.jpg

●設(shè)備介紹

SUSS MA6光刻機，正面套刻精度±0.5um，UVLED光源覆蓋i、h和g-line紫外波長365-435nm，光強均勻度≤±2.5%，可加工最大晶圓尺寸為6英寸，且能向下兼容不同尺寸。

●樣品展示

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地址：江蘇省南京市溧水區(qū)柘塘鎮(zhèn)福游路云海研發(fā)大廈
Email：adhesion@bionic-material.com
電話：025-87793780

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