一、產(chǎn)品簡介

l  產(chǎn)品名稱：仿生被動(dòng)增摩墊（英文名：Passive Pad）

l  品牌：ADHESION

l  功能：產(chǎn)品具有微米級仿生微結(jié)構(gòu)陣列形貌特征，用作半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)的被動(dòng)增摩墊，可大幅度提升晶圓搬運(yùn)的速度、效率和穩(wěn)定性，解決一類半導(dǎo)體領(lǐng)域高摩擦、低黏附的通用界面操控問題。

l  特點(diǎn)：使用便捷，操作簡單；耐受高溫，性能穩(wěn)定；低印記殘留，不傷表面。

二．產(chǎn)品性能參數(shù)

l  型號：ADSR-F15

l  尺寸：內(nèi)徑φ4mm，外徑φ15mm，厚度1~2mm（尺寸可定制）

l  摩擦系數(shù)：晶圓表面（鏡面）≥2；晶圓表面（Ra 3μm）≥5

l  法向粘附力：晶圓表面≦0.1N/cm²

l  失效壽命：一年

l  長期工作溫度條件：-40℃~200℃，瞬時(shí)工作溫度-55℃-280℃

l 工作氣壓：常壓或真空環(huán)境

三．產(chǎn)品操作說明

l  清潔待貼附的載體表面

l  采用邊緣夾持方式，沿箭頭方向撕開背膠保護(hù)紙

l  將露出背膠的仿生被動(dòng)增摩墊貼附于載體特定表面

儲(chǔ)存方式及注意事項(xiàng)：常溫避光保存、保持表面潔凈。