●儀器簡介

 奧林巴斯3D激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS5000配備了彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)，可通過非破壞觀察模式生成高畫質(zhì)的圖像進行精確的3D測量，可測量亞微米級的形貌和表面粗糙度。

●項目信息

型號：OLS5000

測試項目：線粗糙度、面粗糙度、面角度、臺階、高度差、亞微米3D形貌等

測試樣品：半導(dǎo)體、電子元件、模制部件或機械部件等

橫向分辨率：0.12 um

●結(jié)果展示

1、高度和面角度測試

2、線粗糙度測試