●設(shè)備介紹
SUSS MA6光刻機,正面套刻精度±0.5um,UVLED光源覆蓋i、h和g-line紫外波長365-435nm,光強均勻度≤±2.5%,可加工最大晶圓尺寸為6英寸,且能向下兼容不同尺寸。
●樣品展示
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